一、產(chǎn)品概述

MF4000系列氣體質(zhì)量流量計于2008年首次發(fā)布，現(xiàn)已更新升級到最新的第三代。
MF4000系列氣體質(zhì)量流量計采用本公司專有的第四代MEMS流量傳感芯片，集成了時域流量傳感技術(shù)和智能電子技術(shù)。與市場上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術(shù)相比，這種獨特的時域流量傳感技術(shù)消除了一些常見氣體的敏感性。而對于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實現(xiàn)氣體識別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結(jié)合防水、防油納米涂層，產(chǎn)品性能和可靠性得以大幅提高。時域流量傳感技術(shù)還提供了更好的線性度，并使溫度效應(yīng)大幅降低。
MF4000系列氣體質(zhì)量流量計能直接測量氣體質(zhì)量流量，適用于各類清潔、干燥氣體。MF4000工作壓力提高到0.8MPa，測量范圍涵蓋0~50SLPM。MF4000提供多種信號輸出，通過RS485、RS232或|C數(shù)字通訊接口可實現(xiàn)遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集與設(shè)置。MF4000具備LED數(shù)字顯示和按鍵功能，允許用戶在現(xiàn)場調(diào)整或查詢流量計的參數(shù)。

二、產(chǎn)品特點

三、工作原理

MF4000系列氣體質(zhì)量流量計是基于矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司自主研制MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。
該流量計的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感器。當(dāng)沒有氣體流過時，MEMS芯片上的微熱源周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。當(dāng)有氣體流過時，微熱源周邊會形成新的溫度場分布。MEMS芯片上的溫度傳感器將測量到具體的溫度變化并轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)放大、調(diào)理和線性化處理后，通過LED顯示或模擬、數(shù)字信號輸出。由于不同種類的氣體對微熱源周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的溫度變化不同，所以能測量氣體的質(zhì)量流量。

四、產(chǎn)品參數(shù)